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摘要：提供了一种用于监测和检测气棒（gasstick）组件中的气体泄漏的方法和系统。该方法包括以下步骤：在不同时间点测量气棒组件的质量流量控制器中的压力；以及确定不同时间点的压力是否存在超过差异阀值的差异。
主权项：1.一种用于监测气棒组件中的气体泄漏的方法，其中所述方法包括以下步骤：关闭所述气棒组件的第一阀门，所述第一阀门位于所述气棒组件的流动路径中的压力传感器的下游；打开所述气棒组件的位于所述压力传感器的上游的一个或多个额外阀门持续第一时间段，直到所述气棒组件被气体加压；关闭所述一个或多个阀门中的第二阀门，其中在关闭所述第二阀门之后，所述气棒组件的介于所述第一阀门与所述第二阀门之间的至少一部分被加压；通过所述压力传感器测量所述气棒组件的所述至少一部分的压力，以收集第二时间段内的压力数据；以及分析所述压力数据，以确定所述气棒组件的所述至少一部分是否具有泄漏。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 应用材料公司 用于气棒泄漏的泄漏检测
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