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摘要：本发明提供一种基于截断式同轴腔的宽频带扫描显微镜，属于扫描显微镜技术领域。该显微镜使用内导体与探针呈截断状态的同轴腔结构为基础，截断后的能量更多的集中在腔体内部，抑制了电磁辐射，有效提升了品质因数；除此之外，使用TEM00n作为激励近场的主模，保留了传统同轴谐振器高品质因数的特点，在宽频带测试范围内提升了品质因数，从而更好地适用于多种材料的电性能测试。
主权项：1.一种基于截断式同轴腔的宽频带扫描显微镜，其特征在于，包括内导体1、外导体2、第一盖板3、针尖保护栅4和第二盖板5；内导体1和外导体2同轴，内导体1一端和外导体2一端齐平，内导体另一端位于外导体内，第一盖板3和第二盖板5分设于外导体2两端；第二盖板5的中心与内导体1的一端固定连接，且第二盖板上开设两个耦合通孔5-1和若干个安装孔5-2；两个耦合通孔分别与第二盖板5的中心的连线的夹角为θ；带法兰SMA的耦合探针设置于耦合通孔内，用于激励同轴腔内部电磁场，所述带法兰SMA通过安装孔固定于第二盖板5上；所述内导体1由圆柱体和圆台组成，圆柱端面向顶部渐变延伸形成圆台1-1，所述圆台的顶部平面上设置有圆柱凹槽1-2，探针通过介质段与圆柱凹槽1-2固定连接，且探针不与圆柱凹槽接触；第一盖板3的中心设有第一通孔3-1，介质段穿过第一通孔，探针与第一通孔3-1同心；内导体1、外导体2、第一盖板3、第二盖板5、介质段和探针共同构成底部短路、顶部开路的内导体截断式同轴腔；针尖保护栅4设置于第一盖板3侧，且与外导体固定连接；所述针尖保护栅4为介质板，其中心设置有第二通孔4-1，探针通过第二通孔4-1与待测样品接触；所述针尖保护栅4用于保护探针的尖端并调整针尖与待测样品之间的间距；所述外导体2为空心圆柱体，其外侧面上设置有均匀分布的4条缝隙2-1，且外侧壁上均匀设置三个槽，端面上2-2相对应的位置也设置三个槽2-3，端面的槽和外壁的槽共同用于安装千分尺，所述千分尺的精密微分头用于调整针尖保护栅4的位置，从而调整针尖与待测样品之间的间距。
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百度查询： 电子科技大学 一种基于截断式同轴腔的宽频带扫描显微镜
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