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摘要：本发明涉及台阶仪技术领域，公开了一种用于材料表面纳米级形貌表征的台阶仪，包括支撑机构、检测机构、承载机构、位移机构、调平机构以及遮挡机构；本发明通过连接件和驱动件的配合使用，能够带动上托板以其底部的凸球为轴心绕X轴方向转动或带动下托板以其底部的凸球为轴心绕Y轴方向转动，进而达到调节水平的目的，使得承载机构上的待检样品处于水平状态，摆脱了传统调节螺栓与螺纹孔的连接方式造成的不便；通过驱动件、电子水平仪以及控制器的配合使用，能够实现自动检测承载机构水平度以及调平作业，一方面，无需进行手动调平，减轻了工作人员的工作难度，提高了调平效率；另一方面，能够及时进行调平作业。
主权项：1.一种用于材料表面纳米级形貌表征的台阶仪，其特征在于，包括：支撑机构（100）、检测机构（200）、承载机构（300）、位移机构（400）、调平机构（500）以及遮挡机构（600），其中：所述支撑机构（100）用于为检测机构（200）、承载机构（300）、位移机构（400）、调平机构（500）以及遮挡机构（600）提供安装基础；所述检测机构（200）用于对待检样品表面进行观察和检测作业，所述检测机构（200）设于支撑机构（100）上；所述承载机构（300）用于对待检样品提供支撑基础，所述承载机构（300）设于支撑机构（100）上，且所述承载机构（300）位于检测机构（200）的下方；所述位移机构（400）用于带动承载机构（300）沿着X、Y轴方向运动进行观察和检测作业，所述位移机构（400）设于支撑机构（100）上，且所述位移机构（400）位于承载机构（300）的下方；所述调平机构（500）用于对承载机构（300）进行调平作业，所述调平机构（500）设于承载机构（300）和位移机构（400）之间；所述遮挡机构（600）用于对调平机构（500）进行遮挡防护，所述遮挡机构（600）设于调平机构（500）的表面。
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百度查询： 东莞市卓聚科技有限公司 东莞泽攸科技有限公司 一种用于材料表面纳米级形貌表征的台阶仪
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