龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
摘要：本发明公开一种干法刻蚀表面微观形貌演化理论模拟方法、介质及产品，属于微纳加工领域，方法包括：首先，初始化晶格网络，统计所有晶格单元上可能发生的沉积、扩散和脱附等动理学事件，计算其发生概率，生成事件列表和事件概率列表；然后，根据事件发生概率的大小，采用蒙特卡洛方法从事件列表中随机选择一个事件来执行；如果选择事件为沉积事件，则在落点选择时引入阴影效应，通过对沉积粒子进行运动轨迹计算来确定其在刻蚀表面的落点。最后，执行所选择的动理学事件，更新刻蚀形貌、事件列表和事件概率列表，进行下一个模拟循环，直至达到所需的模拟时间和步数。本发明提供一种综合覆盖两种作用机制的理论模拟方法，提高模拟方法的准确性。
主权项：1.一种干法刻蚀表面微观形貌演化的理论模拟方法，其特征在于，所述方法包括：初始化模拟晶格网络，确定晶格模拟参数；统计所述晶格网络中所有晶格中可能发生的动理学事件，生成动理学事件列表；所述动理学事件包括扩散事件、脱附事件和沉积事件；计算当前所述动理学事件列表中每一所述动理学事件的发生概率，生成事件概率列表；根据当前所述事件概率列表中各所述动理学事件的发生概率，采用蒙特卡洛方法从所述动理学事件列表中随机选择所述动理学事件；当选取的动理学事件为所述沉积事件时，则引入阴影效应机制在对应的所述晶格上执行减材或增材操作；当所述选取的动理学事件为所述脱附事件或所述扩散事件时，则在对应的所述晶格上执行增材或减材操作；更新各所述晶格表面的刻蚀形貌、所述动理学事件列表和所述事件概率列表；返回步骤“计算当前所述动理学事件列表中每一所述动理学事件的发生概率，生成事件概率列表”，直至达到设定的模拟时间和步数；其中，当所述选取的动理学事件为所述沉积事件时，则引入阴影效应机制在对应的所述晶格中执行减材或增材操作，具体包括：根据刻蚀体系中各粒子的浓度比例随机选择沉积粒子的类型；根据所述沉积粒子的类型和对应的方向分布规律随机选择沉积粒子的运动方向和初始位置，并基于所述运动方向和所述初始位置开展沉积粒子的阴影效应轨迹计算，得到沉积粒子在刻蚀表面轮廓上的碰撞点；根据所述沉积粒子的类型，对所述碰撞点对应的晶格进行减材操作或增材操作。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 干法刻蚀表面微观形貌演化的理论模拟方法、介质及产品
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号