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摘要：本发明提供一种静电卡盘电源及控制方法。该方法包括检测模块和控制模块，检测模块与控制模块连接；检测模块用于与静电卡盘连接，向静电卡盘发送检测信号，并采集检测信号经过静电卡盘后返回的响应信号，将响应信号发送至控制模块；控制模块用于基于检测信号和响应信号确定静电卡盘的晶片吸附状态。本发明能够利用检测信号的变化情况与晶片与静电卡盘之间夹紧程度的对应关系，确定静电卡盘的晶片吸附状态。
主权项：1.一种静电卡盘电源，其特征在于，包括检测模块和控制模块，所述检测模块与所述控制模块连接；所述检测模块用于与所述静电卡盘连接，向所述静电卡盘发送检测信号，并采集所述检测信号经过所述静电卡盘后返回的响应信号，将所述响应信号发送至所述控制模块；所述控制模块用于基于所述检测信号和所述响应信号确定所述静电卡盘的晶片吸附状态。
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百度查询： 天津吉兆源科技有限公司 静电卡盘电源及控制方法
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