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一种双向静电保护器件 

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摘要:本发明提出了一种双向静电保护器件,包括P型衬底、N型阱区、第一P型阱区、第二P型阱区、第一SN注入区、第二SN注入区、第一SP注入区、第二SP注入区、第一高注入能量高掺杂浓度P型区、第二高注入能量高掺杂浓度P型区、第一金属连接线、第二金属连接线;本发明通过引入高注入能量高掺杂浓度P型区,嵌入新的电流泄放路径,使器件实现了二次回滞特性,增加了维持电压,提高抗闩锁性能,同时降低钳位电压,提高鲁棒性,此外采用完全对称的双向结构设计,满足双向ESD保护的需求。

主权项:1.一种双向静电保护器件,其特征在于包括:P型衬底10、N型阱区20、第一P型阱区31、第二P型阱区32、第一SN注入区41、第二SN注入区42、第一SP注入区51、第二SP注入区52、第一高注入能量高掺杂浓度P型区61、第二高注入能量高掺杂浓度P型区62、第一金属连接线71、第二金属连接线72;其中,第一P型阱区31位于P型衬底10上方左侧区域,第二P型阱区32位于P型衬底10上方右侧区域,N型阱区20位于P型衬底10中部且左右两侧分别紧邻第一P型阱区31和第二P型阱区32;在第一P型阱区31内部上方从左至右分别设有第一SP注入区51和第一SN注入区41,二者紧邻且通过第一金属连接线71连接作为器件的阳极或阴极,第一高注入能量高掺杂浓度P型区61位于第一SN注入区41下方且第一高注入能量高掺杂浓度P型区61上边界紧挨第一SN注入区41下边界,第一高注入能量高掺杂浓度P型区61右边界与第一SN注入区41右边界对齐,第一高注入能量高掺杂浓度P型区61左边界位于第一SN注入区41左边界的右侧;在第二P型阱区32内部上方从左至右分别设有第二SN注入区42和第二SP注入区52,二者紧邻且通过第二金属连接线72连接作为器件的阴极或阳极,第二高注入能量高掺杂浓度P型区62位于第二SN注入区42下方且第二高注入能量高掺杂浓度P型区62上边界紧挨第二SN注入区42下边界,第二高注入能量高掺杂浓度P型区62左边界与第二SN注入区42左边界对齐,第二高注入能量高掺杂浓度P型区62右边界位于第二SN注入区42右边界的左侧。

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权利要求:

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