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摘要：本发明提供一种静电吸附装置，m个径向延伸的第一分支部与中心电极部外周连接，第一圆弧部与第一分支部两两连接；m个径向延伸的第二分支部与边缘电极部内周连接；第二圆弧部与第二分支部两两连接；各个第一圆弧电极和第二圆弧电极宽度大于等于0.3毫米且小于等于5毫米。本发明设置第一电极区和第二电极区使一个电极连接点对整个电极区电连接，减少背部所需走线空间；同时设置圆弧电极的宽度和数量产生强梯度力，提高对高电阻率待吸附基体的吸附力；另外设置避空区域为待吸附基体提供移动空间，提高静电吸附装置可靠性；最后设置中心电极部和边缘电极部为整圆环形，保持单个电极连接点同时实现更大面积的电极区，提高吸附力。

主权项：1.一种静电吸附装置，其特征在于，所述静电吸附装置包括：绝缘介质层（20）、第一电极区和第二电极区，所述绝缘介质层（20）预设高度的横截面为圆形平面；所述第一电极区包括一个中心电极部（35）、m个第一分支部（312）和m组第一圆弧部，每组所述第一圆弧部包括n个第一圆弧电极（311）；所述中心电极部（35）为与所述圆形平面圆心重合的第一圆弧形，所述第一分支部（312）沿着所述圆形平面的径向（11）延伸，m个所述第一分支部（312）均与所述中心电极部（35）的外周连接；每组所述第一圆弧部与所述第一分支部（312）两两对应连接，同组所述第一圆弧部中的n个第一圆弧电极（311）为半径不同且大于所述第一圆弧形的n个同心圆在同一圆心角上对应的圆弧；所述第二电极区包括一个边缘电极部（37）、m个第二分支部（322）和m组第二圆弧部，每组所述第二圆弧部包括n个第二圆弧电极（321）；所述边缘电极部（37）为与所述圆形平面圆心重合的第二圆弧形，所述第二分支部（322）沿着所述圆形平面的径向（11）延伸，m个所述第二分支部（322）均与所述边缘电极部（37）的内周连接；每组所述第二圆弧部与所述第二分支部（322）两两对应连接，同组所述第二圆弧部中的n个第二圆弧电极（321）为半径不同且小于所述第二圆弧形的n个同心圆在同一圆心角上对应的圆弧；m为大于等于1的整数，n为大于2的整数；所述第一电极区与所述第二电极区电极性相反；沿所述圆形平面径向（11）相邻的所述第一圆弧电极（311）与所述第二圆弧电极（321）呈叉指交错分布，所述绝缘介质层（20）覆盖所述第一圆弧电极（311）和所述第二圆弧电极（321）显露出的表面并填充其表面之间的间隙；所述中心电极部（35）的半径小于任何所述第二圆弧电极（321）的半径，所述边缘电极部（37）的半径大于任何所述第一圆弧电极（311）的半径；每个所述第一圆弧电极（311）沿所述圆形平面径向（11）的长度大于等于0.3毫米且小于等于5毫米，每个所述第二圆弧电极（321）沿所述圆形平面径向（11）的长度大于等于0.3毫米且小于等于5毫米。

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