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摘要:本发明公开了一种棒状多晶硅还原炉与压缩机氢气回收系统,包括氢气管线、压缩机氢气密封单元、分离罐、还原炉单元、旋风分离器以及氢气回收缓冲罐;所述压缩机氢气密封单元、分离罐、氢气回收缓冲罐通过第一氢气管线依次连接;所述还原炉单元、旋风分离器以及氢气回收缓冲罐通过第二氢气管线依次连接。本系统将气密封室保护氢气回收,将少量油气引入分离罐内分离,保证较纯净氢气进入氢气回收缓冲罐,充分回收利用氢气,减少氢元素损耗。还原炉内泄压氢气进行回收,通过旋风分离器过滤后将硅粉分离,将无硅粉氢气引入氢气回收缓冲罐,实现了泄压氢气循环利用。
主权项:1.一种棒状多晶硅还原炉与压缩机氢气回收系统,其特征在于,包括氢气管线、压缩机氢气密封单元、分离罐40、还原炉单元、旋风分离器80以及氢气回收缓冲罐50;所述压缩机氢气密封单元、分离罐30、氢气回收缓冲罐50通过第一氢气管线依次连接;所述还原炉单元、旋风分离器80以及氢气回收缓冲罐50通过第二氢气管线依次连接。
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百度查询: 新疆协鑫新能源材料科技有限公司 一种棒状多晶硅还原炉与压缩机氢气回收系统
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