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电迁移测试结构以及其测试方法 

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摘要:本申请提供了一种电迁移测试结构以及其测试方法。该电迁移测试结构包括Pad结构、接触孔结构以及金属线结构,Pad结构包括第一Pad子结构、第二Pad子结构、第三Pad子结构以及第四Pad子结构;接触孔结构包括间隔设置的第一接触孔以及第二接触孔,第一接触孔连接第一Pad子结构,第二接触孔连接第二Pad子结构;金属线结构包括第一金属线及位于第一金属线两侧的第二金属线以及第三金属线,第一金属线连接第三Pad子结构,第二金属线或者第三金属线连接第四Pad子结构。保证了确定电迁移测试结构的失效位置的速度较快以及准确性较高,解决了现有技术中的难以确认电迁移测试过程中的具体失效位置的问题。

主权项:1.一种电迁移测试结构,其特征在于,所述电迁移测试结构包括:Pad结构,包括第一Pad子结构、第二Pad子结构、第三Pad子结构以及第四Pad子结构;接触孔结构,包括间隔设置的第一接触孔以及第二接触孔,所述第一接触孔的一端与所述第一Pad子结构连接,所述第二接触孔的一端与所述第二Pad子结构连接;金属线结构,包括第一金属线以及分别位于所述第一金属线两侧的第二金属线以及第三金属线,所述第一金属线的侧面与所述第一接触孔的第二端以及所述第二接触孔的第二端均接触,所述第一金属线的第一端、所述第二金属线的第一端以及所述第三金属线的第一端均连接,所述第一金属线的第二端与所述第三Pad子结构接触,所述第二金属线的第二端或者所述第三金属线的第二端与所述第四Pad子结构接触,所述第一Pad子结构、所述第二Pad子结构、所述第三Pad子结构以及所述第四Pad子结构分别用于连接电源或者接地。

全文数据:

权利要求:

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