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摘要：本发明属于检测技术领域，涉及维恩过滤器及相关的带电粒子束检测仪器及成像设备。维恩过滤器包括电偏转器和磁偏转器；电偏转器包括至少一组对置的弧形的电极对，各组电极对呈同轴共圆周设置，电极对分别被电压激励产生各自电场；磁偏转器包括至少一组对置的弧形的磁极对，各组磁极对呈同轴共圆周设置，且与电偏转器同轴异圆周分布，磁极对被绕制于磁极对上的线圈激励以产生各自磁场；至少一组电极对提供单一方向的电场，其余磁极对提供的磁场方向可调，以满足与电场方向的正交条件；或者，至少一组磁极对提供单一方向的磁场，其余电极对提供的电场方向可调，以满足与磁场的正交条件。本发明可消除带电粒子光学系统中偏转场的三次谐波分量。
主权项：1.一种维恩过滤器，包括电偏转器和磁偏转器；其特征在于：所述电偏转器包括至少一组对置的弧形的电极对，各组电极对呈同轴共圆周设置，所述电极对分别被电压激励产生各自电场；所述磁偏转器包括至少一组对置的弧形的磁极对，各组磁极对呈同轴共圆周设置，且与所述电偏转器同轴异圆周分布，所述磁极对被绕制于磁极对上的线圈激励以产生各自磁场；其中，所述电极对与所述磁极对之和为至少三对；所述磁极对提供恒定方向的磁场，其余电极对提供的电场方向可调，以满足与磁场的正交条件；所述电极对包括一组或者多组主电极对，所述主电极对的同侧电极之间以X轴为中心对称设置，所述X轴位于电偏转器的横截面内且穿过电偏转器的轴心，主电极对的同侧电极之间设置绝缘间隙，所述主电极对的电极全张角α1为120°±Δ，其中电极全张角α1表示单侧主电极的总弧长与该侧主电极之间绝缘间隙之和与轴心构成的弧度对应的角度，Δ为容差值。
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百度查询： 苏州矽视科技有限公司 维恩过滤器及带电粒子束成像设备
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