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摘要：本发明提供能够提高基于作业员对操作终端的操作来控制半导体制造装置时的安全性的控制装置、半导体制造系统、控制方法和计算机存储介质。控制具有多个模块的半导体制造装置的控制装置基于用户对显示半导体制造装置的操作画面的操作终端的操作来控制半导体制造装置，半导体制造装置具有多个终端连接口和多个用于检测连接于终端连接口的操作终端的检测部，控制装置存储以检测部为单位表示与检测部对应的可控制的模块的模块限制信息，在任意终端连接口连接着操作终端、且由对应的检测部检测到操作终端的情况下，基于模块限制信息，将关于操作画面的画面信息发送至连接着的操作终端，画面信息包含表示与检测所使用的检测部对应的可控制的模块的信息。
主权项：1.一种控制具有多个模块的半导体制造装置的控制装置，其特征在于：所述控制装置是基于用户对显示所述半导体制造装置的操作画面的操作终端的操作来控制所述半导体制造装置的装置，所述半导体制造装置具有多个供所述操作终端连接的终端连接口，且具有多个用于检测连接于所述终端连接口的所述操作终端的检测部，所述检测部由所述终端连接口兼任或者设置在所述终端连接口的周围，该控制装置存储模块限制信息，所述模块限制信息以所述检测部为单位表示与所述检测部对应的可控制的模块，在任意所述终端连接口连接着所述操作终端、且由对应的所述检测部检测到所述操作终端的情况下，基于所述模块限制信息，将关于所述操作画面的画面信息发送至连接着的操作终端，所述画面信息包含表示与检测所使用的所述检测部对应的所述可控制的模块的信息。
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百度查询： 东京毅力科创株式会社 控制装置、半导体制造系统、控制方法和计算机存储介质
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