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一种基于虹膜光阑的差分波前传感角度测量装置及测量方法 

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摘要:一种基于虹膜光阑的差分波前传感角度测量装置及测量方法,属于精密测量技术领域,意在解决差分波前传感技术的角度测量精度与角度测量线性范围制约的问题,本发明包括双频激光发生模块、参考光准直器、参考光电探测器、参考反射镜、一号、二号、三号非偏振分光棱镜、测量反射镜、一号、二号四象限探测器、虹膜光阑、测量光准直器。本发明利用二号四象限探测器根据差分功率传感原理实时获得各象限光强度数据,计算待测角度粗测值;根据粗测值调节虹膜光阑至对应通光孔径,实现波前差分传感测量线性范围及测量灵敏度动态在线调整;最后根据差分波前传感原理计算待测角度精测值,实现粗精二次测量,在保证角度测量精度的同时提升了角度测量范围。

主权项:1.一种基于虹膜光阑的差分波前传感角度测量装置,其特征在于,包括双频激光器1、参考光单模光纤2、参考光准直器3、参考光电探测器4、一号非偏振分光棱镜5、参考反射镜6、三号非偏振分光棱镜7、测量反射镜8、二号四象限探测器9、虹膜光阑10、一号四象限探测器11、二号非偏振分光棱镜12、测量光准直器13、测量光单模光纤14;所述双频激光器1分别连接参考光单模光纤2、测量光单模光纤14;所述参考光单模光纤2连接参考光准直器3,所述测量光单模光纤14连接测量光准直器13;所述参考光准直器3出射的参考光垂直入射到一号非偏振分光棱镜5上,所述测量光准直器13出射的测量光垂直入射到二号非偏振分光棱镜12上;所述一号非偏振分光棱镜5和二号非偏振分光棱镜12的侧面平行粘接;所述一号非偏振分光棱镜5的另一侧对应设置有参考光电探测器4,所述一号非偏振分光棱镜5的后侧粘接有参考反射镜6;所述二号非偏振分光棱镜12的另一侧对应设置有虹膜光阑10,所述虹膜光阑10的侧面设置有一号四象限探测器11,所述二号非偏振分光棱镜12的后侧粘接有三号非偏振分光棱镜7,所述三号非偏振分光棱镜7的后侧设置有测量反射镜8,所述三号非偏振分光棱镜7的侧面设置有二号四象限探测器9。

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