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摘要：本发明涉及一种混合集成多波长窄线宽半导体激光器阵列，属于半导体激光器领域。该激光器阵列包括依次连接的增益芯片阵列、调相区、阵列波导光栅和反馈区。所述增益芯片阵列包括至少两个增益芯片，每个增益芯片为一路波长激光提供光学增益。所述调相区用于调节每一路波长激光的相位。所述阵列波导光栅提供选模功能以及分束和合束功能。所述反馈区作为激光器阵列的谐振腔，用于提供光反馈功能。本发明器件集成度高、稳定性好，能够同时实现超窄线宽、较大输出光功率、大面积集成。
主权项：1.一种混合集成多波长窄线宽半导体激光器阵列，其特征在于：包括依次连接的增益芯片阵列、调相区、阵列波导光栅和反馈区；所述增益芯片阵列包括至少两个增益芯片，每个所述增益芯片为一路波长激光提供光学增益；所述调相区用于调节每一路波长激光的相位；所述阵列波导光栅提供选模功能以及分束和合束功能；所述反馈区作为该激光器阵列的腔镜提供光反馈功能。
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百度查询： 中国电子科技集团公司第四十四研究所 混合集成多波长窄线宽半导体激光器阵列
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