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摘要：本发明公开了一种圆晶检测载台调平结构及设备，圆晶检测载台调平结构包括从上至下依次间隔设置的第一调平板、第二调平板及第三调平板，所述第一调平板、第二调平板及第三调平板的中部均设置有一个镂空孔，且所述第一调平板、第二调平板及第三调平板上的镂空孔处于同一轴线方向上，所述第一调平板与第二调平板之间设置有第一电动角度位移台，所述第一电动角度位移台用于驱动所述第一调平板在θx轴方向的偏转角度，所述第二调平板与第三调平板之间设置有第二电动角度位移台，所述第二电动角度位移台用于驱动所述第二调平板在θx轴方向的偏转角度；圆晶检测设备包括执行光模块、晶圆载台、检测相机和圆晶检测载台调平结构。本发明的圆晶检测载台调平结构，结构紧凑，调平纠偏时间短，高效稳定。
主权项：1.一种圆晶检测载台调平结构，其特征在于：包括从上至下依次间隔设置的第一调平板、第二调平板及第三调平板，所述第一调平板、第二调平板及第三调平板的中部均设置有一个镂空孔，且所述第一调平板、第二调平板及第三调平板上的镂空孔处于同一轴线方向上，所述第一调平板与第二调平板之间设置有第一电动角度位移台，所述第一电动角度位移台用于驱动所述第一调平板在θx轴方向的偏转角度，所述第二调平板与第三调平板之间设置有第二电动角度位移台，所述第二电动角度位移台用于驱动所述第二调平板在θx轴方向的偏转角度。
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权利要求：
百度查询： 海目星激光科技集团股份有限公司 一种圆晶检测载台调平结构及设备
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