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摘要：公开了一种改进系统，例如用于带电粒子束系统诸如扫描电子显微镜SEM中的晶片外部检查。该系统使用晶片703周围的多个导电电极例如，环710、711来校正晶片外部发生的电场畸变。这些环上施加不同的互补电压VS1、VS2，以便实现对电场畸变的精确补偿。
主权项：1.一种用于减少晶片的外部部分附近的电场畸变的系统，包括：晶片保持器，包括被配置为保持晶片的保持部分，所述晶片具有第一外径；第一导电电极，被配置为围绕所述晶片，所述第一导电电极具有第二内径和第三外径，所述第二内径大于所述第一外径；第二导电电极，被配置为环绕所述第一导电电极，所述第二导电环具有大于所述第二内径的第四内径；第一电压源、第二电压源和第三电压源，所述第一电压源连接到所述第一导电电极，所述第二电压源连接到所述第二导电电极，所述第三电压源连接到所述晶片；以及控制器，被配置为控制所述第一电压源、所述第二电压源和所述第三电压源中的每一者分别以第一电压、第二电压和第三电压工作；其中所述第一电压、所述第二电压和所述第三电压被选择以减少所述晶片的所述外部部分处的电场的畸变，并且所述第一电压、所述第二电压、所述第三电压彼此不同。
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百度查询： ASML荷兰有限公司 用于减少晶片边缘附近的电场畸变的晶片保持器
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