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摘要:本发明公开了基于机器视觉的半导体晶片自动分拣系统,属于半导体制造技术领域,其包括:主输送机构,用于运送待检测的半导体晶片,所述主输送机构包括第一输送架、第一输送带、槽轮和拨盘,所述第一输送架内转动安装有两个第一输送辊,所述第一输送带传动安装在两个所述第一输送辊的外侧;副输送机构,用于运送分拣出的半导体晶片,所述副输送机构设置在所述主输送机构的一侧;分拣机构,所述分拣机构包括转运机构、装夹机构和检测机构,所述转运机构包括转动臂和固定柱。本发明通过设置的主输送机构可实现对半导体晶片的间歇性输送以保证分拣效果,通过设置的装夹机构和检测机构方便实现对半导体晶片的多位置多角度检测,保证检测结果准确性。
主权项:1.基于机器视觉的半导体晶片自动分拣系统,其特征在于,包括:主输送机构,用于运送待检测的半导体晶片,所述主输送机构包括第一输送架1、第一输送带101、槽轮103和拨盘105,所述第一输送架1内转动安装有两个第一输送辊102,所述第一输送带101传动安装在两个所述第一输送辊102的外侧,且所述槽轮103固定连接在其中一个所述输送带的一端,且所述拨盘105与所述槽轮103相啮合,且所述拨盘105转动安装在所述第一输送架1的外侧;副输送机构,用于运送分拣出的半导体晶片,所述副输送机构设置在所述主输送机构的一侧;分拣机构,所述分拣机构包括转运机构、装夹机构和检测机构,所述转运机构包括转动臂4和固定柱3,所述固定柱3固定连接在所述第一输送架1的顶部,且所述转动臂4转动连接在所述固定柱3的顶端,所述装夹机构包括横板5、两个竖板6和两个装夹板602,所述检测机构包括检测摄像头7和电动推杆702。
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