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摘要：本发明属于半导体制备技术领域，公开了一种用于碳化硅外延生长的载具、晶片传输系统及晶片传输方法，该用于碳化硅外延生长的载具包括承载盘和承载环。承载盘包括承载部，承载部用于放置晶片，承载部的上表面形状匹配于晶片的形状；承载环的内壁凸设环台结构，承载盘沿轴向可活动地设置于承载环内；当承载盘位于承载环内时，承载部的底面抵接于环台结构的台阶面上。该用于碳化硅外延生长的载具能够防止工艺气体通过各部件之间的间隙对晶片背面进行刻蚀，有效提高晶片的外延生长质量。
主权项：1.用于碳化硅外延生长的载具，其特征在于，包括：承载盘1，包括承载部11，所述承载部11用于放置晶片100，所述承载部11的上表面形状匹配于所述晶片100的形状；承载环2，所述承载环2的内壁凸设环台结构21，所述承载盘1沿轴向可活动地设置于所述承载环2内；当所述承载盘1位于所述承载环2内时，所述承载部11的底面抵接于所述环台结构21的台阶面上。
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百度查询： 嘉兴晶丰芯驰半导体材料有限公司 用于碳化硅外延生长的载具、晶片传输系统及晶片传输方法
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