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摘要：本发明涉及坩埚穴位旋转和整体位移技术领域，具体为一种下沉腔坩埚穴位旋转和整体位移机构，包括下沉腔本体，以及安装在下沉腔本体下方的底座板；所述下沉腔本体的左侧贯穿安装有气动伸缩位移机构，气动伸缩位移机构的右端与滑动板的左侧面相连接。该下沉腔坩埚穴位旋转和整体位移机构，通过增加滑动板、第一滑槽和气动伸缩位移机构以及不脱开的坩埚旋转机构使得整个下沉腔坩埚穴位旋转和整体位移机构方便补料以及省力，通过插板阀本体的使用，可将下沉腔本体与上方的主腔体之间密封隔开，继而使得下沉腔本体可单独破真空打开，从而可避免上方的主腔体内的真空泄露，因此缩短了换料时间，提高了后期镀膜的效率。

主权项：1.一种下沉腔坩埚穴位旋转和整体位移机构，包括下沉腔本体（1），以及安装在下沉腔本体（1）下方的底座板（2）；所述下沉腔本体（1）的右侧面开槽安装有开合门（5）；下沉腔本体（1）的上方安装有插板阀本体（3）；其特征在于，还包括；所述底座板（2）的上方滑动连接有滑动板（10），滑动板（10）的上方安装有承载板（8）；所述承载板（8）上方中部转动安装有坩埚旋转机构，坩埚旋转机构包括旋转轴杆（71），旋转轴杆（71）的上方安装有多穴位坩埚本体（7）；所述承载板（8）的上方右侧安装有电子束加热机构（9），电子束加热机构（9）的前后两侧通过安装架（15）与开合门（5）相连接；所述滑动板（10）的左侧上方安装有竖杆（11），竖杆（11）的下方外侧通过链轮组件（72）与旋转轴杆（71）相连接；所述多穴位坩埚本体（7）的上方设置有盖板本体（6），盖板本体（6）的左侧通过自升降控制组件与竖杆（11）滑动连接；所述下沉腔本体（1）的左侧贯穿安装有气动伸缩位移机构，气动伸缩位移机构的右端与滑动板（10）的左侧面相连接；所述自升降控制组件包括安装在竖杆（11）上方外侧的固定盘（12），以及安装在固定盘（12）上方的六个推动柱（121），六个推动柱（121）以竖杆（11）的圆心为圆心等间距分布；所述盖板本体（6）的左侧安装有连接块（61），连接块（61）的下方安装有调控块（62），连接块（61）的内部贯穿设置有竖杆（11），竖杆（11）的后侧设置有呈弧形状结构的调控块（62）；调控块（62）的两侧面为倾斜状设置，调控块（62）设置在相邻的两个推动柱（121）之间，调控块（62）通过推动柱（121）与竖杆（11）构成升降结构；所述承载板（8）的上方左侧对称安装有用于对旋转的多穴位坩埚本体（7）进行限位以及减少摩擦力的滚轮组件；盖板本体（6）的左侧对称安装有两个横板（63），横板（63）的下方安装有复位弹簧（64），复位弹簧（64）的下方安装在滚轮组件的上表面；盖板本体（6）右侧内的通槽与多穴位坩埚本体（7）内的其中一个穴位重合设置；盖板本体（6）的下表面安装有缓冲橡胶垫（65），缓冲橡胶垫（65）的下方贴合设置有多穴位坩埚本体（7）；所述气动伸缩位移机构包括贯穿安装在下沉腔本体（1）左侧面伸缩位移管（4），所述伸缩位移管（4）的左侧上方安装有控制气管（41），控制气管（41）与外界的气体控制机构相连接，伸缩位移管（4）内贴合滑动连接有活塞本体（42），活塞本体（42）的左侧设置有控制气管（41），活塞本体（42）的右端贯穿伸缩位移管（4）的右侧面与滑动板（10）的左侧面相连接，滑动板（10）通过活塞本体（42）与底座板（2）构成滑动结构；所述底座板（2）的上表面中部位置开设有第一滑槽（201），底座板（2）的上表面对称开设有两个分滑槽（202），分滑槽（202）的前后两侧均开设有侧滑槽（203），分滑槽（202）内的空间和侧滑槽（203）内的空间相连通；第一滑槽（201）的前后两侧均设置有分滑槽（202），第一滑槽（201）的右侧为不开口状设置，分滑槽（202）的右侧为开口状设置；所述滑动板（10）呈“L”形状结构设置，滑动板（10）的左侧底面的最低点低于滑动板（10）右侧底面的最低点；滑动板（10）的左侧底面安装有滚轴（101），滑动板（10）的右侧底面对称安装有辅助支撑杆（13）；滚轴（101）的下方与第一滑槽（201）滑动连接。

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