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摘要:本发明提供一种基于PVA光纤的温湿度传感器系统,包括宽带光源,偏振分束器、偏振控制器、耦合器、传感器、光谱分析仪和光功率计,传感器包括单模光纤锥、PVA光纤、金属光栅、二氧化硅衬底和硅基衬底,单模光纤锥的输入端与耦合器相连接,单模光纤锥的输出端与光功率计相连接,PVA光纤两端分别与两个单模光纤锥连接,金属光栅位于PVA光纤的下方,二氧化硅衬底位于金属光栅的底部,硅衬底位于二氧化硅衬底的底部。本发明可通过直接抽取原有的传感材料PVA光纤,重新放置新的PVA光纤材料即可完成新传感器的制备,可重复利用率高,相比在传统石英光纤表面涂覆PVA薄膜,工作量更小。
主权项:1.一种基于PVA光纤的温湿度传感器系统,其特征在于,包括宽带光源(1),所述宽带光源(1)、偏振分束器(2)、偏振控制器(3)、耦合器(4)、传感器(6)、光谱分析仪(5)和光功率计(7),所述宽带光源(1)的输出端和偏振分束器(2)的输入端相连接,所述偏振分束器(2)的输出端和偏振控制器(3)的输入端相连接,所述耦合器(4)具有三个接口端,分别与偏振控制器(3)的出口端、传感器(6)的输入端和光谱分析仪(5)的反馈端相连接,所述传感器(6)包括单模光纤锥(61)、PVA光纤(62)、金属光栅(63)、二氧化硅衬底(64)和硅衬底(65),所述单模光纤锥(61)的输入端与所述耦合器(4)相连接,所述单模光纤锥(61)的输出端与所述光功率计(7)相连接,所述PVA光纤(62)两端与单模光纤锥(61)相连接,所述金属光栅(63)位于所述PVA光纤(62)的下方,所述二氧化硅衬底(64)位于金属光栅(63)的底部,所述硅衬底(65)位于二氧化硅衬底(64)的底部;所述金属光栅(63)的具体制备步骤为:将二氧化硅衬底(64)进行清洗加热处理,通过电子束蒸发法溅射沉积在二氧化硅衬底(64)表面形成金膜层;利用电子束光刻技术在金属膜上沉积光刻胶材料,形成光刻胶层;在光刻胶层上添加带有光栅图案的掩膜,在照明后将光栅图案转移到光刻胶层上;在显影过程中,光刻胶栅格图案在金膜层表面形成;通过离子束蚀刻处理进一步将光刻胶的网格图案转移到金膜层上;使用丙酮和N-甲基-2-吡咯烷酮清除金膜层上的光刻胶,完成金属光栅(63)的制作;所述PVA光纤(62)的具体制备步骤为:将去离子水和PVA颗粒按照2.5:1的质量比倒入100ml玻璃烧杯中混合搅拌,并静置24h;将玻璃烧杯放置在石棉网上,使用酒精灯将烧杯溶液加热至95摄氏度左右,并持续使用玻璃棒搅拌溶解PVA颗粒,直到形成均匀粘稠的混合物;将溶解好的混合物冷却至室温后放进冷冻室静置12小时,冷冻温度范围为−5至−20°C;将冷冻好的混合物放置常温1小时进行解冻,使用尖端钨丝拉制成PVA光纤(62),将拉制好的PVA光纤(62)放置在载玻片上,放进冷冻室静置12小时,固化后进行常温解冻;重复上述冷冻解冻操作循环5次,得到固化效果好的PVA光纤(62);所述PVA光纤(62)和单模光纤锥(61)的直径为0.7um,PVA光纤(62)的长度为26um;所述金属光栅(63)材料为金,光栅周期为0.65um,占空比为0.4;所述PVA光纤(62)两端通过静电吸附力与单模光纤锥(61)相连接。
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百度查询: 江西师范大学 一种基于PVA光纤的温湿度传感器系统
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