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一种微半球研磨校准方法 

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摘要:本发明提供一种微半球研磨校准方法,其包括:将第一平面片和高度规置于基准平台上,将安装微半球的治具置于第一平面片上,将第二平面片置于高度规的平行滑杆头的底端,平行滑杆头下移至第二平面片下表面与微半球锚柱上端面贴合,高度规测量微半球锚柱上端面距离基准面的高度h1;将安装微半球的治具置于基准平台的基准面上,再将第一平面片置于微半球上,至第一平面片下表面与微半球上端面贴合,平行滑杆头下移至第二平面片下表面与第一平面片上表面贴合,高度规测量第一平面片上表面距离基准面的高度h2;计算高度差∆h=h2‑h1,将∆h加上微半球锚柱上表面设定磨削量,得到微半球研磨量。本发明确保了微半球研磨的准确性和成品的Q值。

主权项:1.一种微半球研磨校准方法,其特征在于,包括以下步骤:S100将第一平面片和高度规置于基准平台的基准面上,将安装微半球的治具置于第一平面片上,将第二平面片置于高度规的平行滑杆头的底端,平行滑杆头下移至第二平面片下表面并与微半球锚柱上端面贴合,高度规测量微半球锚柱上端面距离基准面的高度h1;S200将安装微半球的治具置于基准平台的基准面上,再将第一平面片置于微半球上,至第一平面片下表面与微半球上端面贴合,平行滑杆头下移至第二平面片下表面并与第一平面片上表面贴合,高度规测量第一平面片上表面距离基准面的高度h2;S300计算高度差Δh=h2-h1,将Δh加上微半球锚柱上表面设定磨削量,得到微半球研磨量。

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