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摘要：本发明公开了一类含二苯乙烯结构的硫鎓盐单分子树脂型光刻胶及其制备方法和应用，其具有如下分子结构：该类材料在各种极性溶剂中都具有很好的溶解性，适于制成薄膜，可以作为单组分光刻胶用于紫外、极紫外以及电子束光刻中。此外，避免了化学放大光刻胶中产酸剂以及防酸扩散剂分布不均匀、酸扩散不均匀等问题，所得到的图案具有高的分辨率和低的线边缘粗糙度。
主权项：1.式I所示化合物： Ⅰ；其中，Ra相同或不同，彼此独立选自氢、C1-15烷基、C1-15烷氧基、卤代C1-15烷基、卤代C1-15烷氧基；Rb相同或不同，各自独立地选自-S+RS1RS2或基团Z，所述基团Z为H、C1-15烷基、C1-15烷氧基、卤代C1-15烷基、卤代C1-15烷氧基；RS1、RS2相同或不同，各自独立地选自未取代，或任选被一个、两个或更多个RS取代的如下基团：C1-15烷基、C6-20芳基、-C1-15烷基-C6-20芳基、-C6-20芳基-C1-15烷基；RS相同或不同，彼此独立地选自氧代、硝基、氰基、C1-15烷基、C1-15烷氧基；X–为卤素离子、羧酸根、硫酸根、烷基磺酸根、三氟甲磺酸根、全氟丙基磺酸根、全氟丁基磺酸根、对甲苯磺酸根、磺酰胺的阴离子、四氟硼酸根、六氟锑酸根、六氟磷酸根或双三氟甲烷磺酰亚胺离子；m为3；式I化合物中具有3个硫鎓盐基团-S+RS1RS2，且每个与乙烯基相连的末端苯基上具有1个硫鎓盐基团-S+RS1RS2。
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百度查询： 中国科学院理化技术研究所 含二苯乙烯结构的硫鎓盐单分子树脂型光刻胶及其制备方法和应用
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