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摘要:本发明的气味传感器具备:具有感应膜的离子传感器;配置在感应膜上的、吸附检测对象的气味物质的物质吸附膜;和对物质吸附膜施加基准电压的电极。物质吸附膜在吸附了气味物质时成为释放质子的状态。
主权项:1.一种气味传感器,其特征在于:具备:离子传感器,具有离子感应部;物质吸附膜,配置在所述离子感应部上,吸附检测对象的气味物质;电极,对所述物质吸附膜施加基准电压;和以覆盖所述离子传感器的方式设置的钝化层,所述物质吸附膜在吸附了所述气味物质时成为释放质子的状态,所述离子感应部根据所述物质吸附膜的状态变化而使电位变化,所述物质吸附膜以覆盖所述钝化层的方式设置,在所述钝化层,设置有使所述离子感应部向外部露出的开口,所述离子感应部经由所述开口与所述物质吸附膜接触,所述物质吸附膜具有沿所述开口的形状凹陷的凹部。
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百度查询: 浜松光子学株式会社 气味传感器及检测方法
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