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摘要：本发明涉及一种灵活定制高可调柔性微加热器的复合加工方法及微加热器，制备方法包括：S1：以激光直写的方式对柔性基底表面进行直写刻蚀加工，获得图案化的激光诱导石墨烯结构，作为加热图案区域；S2：装夹三维绝缘掩膜版，并以选择性电化学沉积材料在加热图案区域上进行电化学沉积，得到电极和互联导体图案；S3：以封装柔性聚合物作为封装层，完成柔性微加热器的制造。与现有技术相比，本发明加工工艺过程操作方便、绿色环保、加工精度高、成本低，对柔性微加热器件的开发和加工具有重要的应用价值；加工的柔性微加热器能够广泛地用于生物医疗、可穿戴式电子设备、实验室研究、智能电子器件以及软机器人等各种领域。
主权项：1.一种灵活定制高可调柔性微加热器的复合加工方法，其特征在于，包括以下步骤：S1：以激光直写的方式对柔性基底表面进行直写刻蚀加工，获得图案化的激光诱导石墨烯结构，作为加热图案区域；S2：装夹三维绝缘掩膜版，并以选择性电化学沉积材料在加热图案区域上进行电化学沉积，得到电极和互联导体图案；S3：以封装柔性聚合物作为封装层，完成柔性微加热器的制造；S1中由激光诱导生成的石墨烯材料的导电性通过设置不同激光加工参数进行调节，所述激光直写刻蚀加工参数包括激光强度、扫描速度、扫描路径的次数；S2中所述三维绝缘掩膜版上设有三维流道构型，使得在选择性电化学沉积过程中，电解液能够通过所述三维流道构型进行流动循环，实现金属离子在加热图案区域的待加工表面上的沉积加工。
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百度查询： 上海师范大学 灵活定制高可调柔性微加热器的复合加工方法及微加热器
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