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摘要：本发明涉及一种MEMS红外光源，所述的红外光源包括衬底和承载在衬底上的正面结构，所述的正面结构从下至上依次包括双层介质层、钨加热电阻层、黏附层、纳米非晶碳层、钝化层，钨加热电阻层包括盘丝状钨结构、沉积在钨结构中的氧化硅层、以及设置在钨结构上的金属电极。本发明还提供了相应的制备方法。本发明的新型红外光源器件具有辐射自增强效应，可以实现更高的辐射温度和更稳定的热响应，实现优异的中远红外辐射性能。MEMS红外光源集成于红外气体传感系统，是红外气体检测装置的核心部件，解决了传统传感器与气体直接接触导致中毒或灵敏度下降的问题，对于环境检测、工矿业生产安全方面具有巨大的应用价值。
主权项：1.一种MEMS红外光源，其特征在于，所述的红外光源包括衬底和承载在衬底上的正面结构，所述的正面结构从下至上依次包括双层介质层、钨加热电阻层、黏附层、纳米非晶碳层、以及钝化层，所述的钨加热电阻层包括盘丝状钨结构、沉积在钨结构中的氧化硅层、以及设置在钨结构上的金属电极，所述的黏附层为TiTiN层，所述的纳米非晶碳层为类金刚石结构，所述的盘丝状钨结构与纳米非晶碳层组成复合热阻材料，通过纳米非晶碳层的红外增透作用，所述的复合热阻材料的红外吸收及增透呈现辐射自增强效应。
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百度查询： 上海翼捷工业安全设备股份有限公司 MEMS红外光源及其制备方法
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