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摘要：本发明涉及烧结设备技术领域，尤其是一种烧结设设备及其气氛可控的压力烧结机构，该气氛可控的压力烧结机构包括伸缩管、加压组件及加热组件，伸缩管至少存在一部分为能够弹性伸缩的波纹管段，伸缩管配置在两个加压组件之间，由于伸缩管具有能够弹性伸缩的波纹管段，故而伸缩管的弹性模量很低，对于小压力工作范围，伸缩管能够以较小的压力密封形成的烧结腔，同时在伸缩管能够弹性伸缩的特性影响下，伸缩管所受的压力远小于产品所受的压力，因此，可近似认为加压组件上的所有压力都施加在了产品上，从而只需测得加压组件的压力，便于获知加载在芯片上的压力，进而能够满足小压力工作范围的烧结键合，适用范围广。

主权项：1.一种气氛可控的压力烧结机构，其特征在于：包括：伸缩管（1），至少存在一部分为能够弹性伸缩的波纹管段（102）；加压组件，具有两个，且彼此相对设置，伸缩管（1）配置在两个加压组件之间，两个所述加压组件用于在其相互靠拢时封堵住伸缩管（1）端部的管口使伸缩管（1）的内部形成密闭的烧结腔（4），并用于对烧结腔（4）内的产品（15）施加压力；其中，烧结腔（4）形成后，随着加压组件继续施压而由加压组件对烧结腔（4）内的产品加压；以及加热组件，用于对烧结腔（4）内的产品（15）进行加热；所述伸缩管（1）的两端分别为固定端（101）和自由端（103），两个所述加压组件中的一者与伸缩管（1）的固定端（101）密封固定连接，以封堵住伸缩管（1）的固定端（101）的管口，另一者与伸缩管（1）的自由端（103）的管口相对设置；两个所述加压组件分别为上加压组件（2）和下加压组件（3），上加压组件（2）位于下加压组件（3）的上方，所述伸缩管（1）的固定端（101）和上加压组件（2）固定连接，且彼此之间设置有密封圈（5）；所述上加压组件（2）包括上压头（201），所述上压头（201）的下表面向下凸出有延伸部（2011），所述延伸部（2011）伸入至伸缩管（1）内；所述加热组件包括上加热元件（6），所述上加热元件（6）安装在上压头（201）上。

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