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摘要：本实用新型属于半导体加工设备技术领域，尤其为一种光伏石英管炉门，包括环形板和炉门保温板，所述炉门保温板靠近环形板的一侧固定连接有炉门背板，并且炉门背板和炉门保温板的外缘齐平，所述炉门背板和环形板之间的连接处设置有阵列分布的阻尼支撑部件，所述阻尼支撑部件包括圆杆，以及套设在圆杆上的阻尼弹簧。本实用新型通过在炉门保温板的一侧设置炉门背板，炉门背板和环形板之间设置多个阻尼支撑部件，阻尼支撑部件具有良好的阻尼性能，炉门关闭时，炉门保温板与炉管之间的摩擦、碰撞作用较小，并且能够使得炉门保温板紧密的贴合在炉口处，解决了现阶段炉门关闭时炉管易破碎，以及炉门保温效果不佳的问题。
主权项：1.一种光伏石英管炉门，包括环形板1和炉门保温板3，其特征在于：所述炉门保温板3靠近环形板1的一侧固定连接有炉门背板2，并且炉门背板2和炉门保温板3的外缘齐平，所述炉门背板2和环形板1之间的连接处设置有阵列分布的阻尼支撑部件7，所述阻尼支撑部件7包括圆杆701，以及套设在圆杆701上的阻尼弹簧702，所述圆杆701滑动连接在环形板1对应开设的孔上，且圆杆701的一端固定在炉门背板2上，阻尼弹簧702的两个端部分别与环形板1、炉门背板2相抵，炉门通过阻尼支撑部件7的关系使得炉门保温板3紧密的贴合在石英管炉口上。
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百度查询： 山东神石光电科技有限公司 一种光伏石英管炉门
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