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摘要：本实用新型公开了一种外延生长设备MO源过滤装置，包括源瓶、进气管、过渡管、出气管和过滤器，源瓶上连接有进气管和过渡管，过渡管与出气管之间连接有过滤器，过滤器包括壳体和过滤网，过滤网设于壳体内部，且与壳体之间为可拆卸连接。本实用新型从源头着手对源瓶中的大颗粒物进行过滤，有效避免或减少MO管道、MFC等器件出现MO源残留而影响AlkylFlowMFC性能，减少更换及复机的麻烦。本实用新型的过滤器、过滤网可自由拆装，便于拆卸清洗或维护，使用方便，实用性强。
主权项：1.一种外延生长设备MO源过滤装置，其特征在于：包括源瓶、进气管、过渡管、出气管和过滤器，所述源瓶上连接有进气管和过渡管，所述过渡管与出气管之间连接有过滤器，所述过滤器包括壳体和过滤网，所述过滤网设于壳体内部，且与壳体之间为可拆卸连接。
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百度查询： 聚灿光电科技(宿迁)有限公司 一种外延生长设备MO源过滤装置
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