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摘要：本发明公开了一种金属Mo的等离激元圆偏振光限幅器、制作方法、系统，涉及微纳光学技术领域。该限幅器该限幅器包括三个功能层组成，最底层为反射层，中间层为电介质层，最顶层为手性微纳结构层；该用于在短时间内对输入的高强度光进行限制；最顶层上的手性微纳结构层是具有手性形状的等离激元阵列采用了难熔金属钼，能够实现高强度输入光在短时间内得到有效限制，增强手性光学响应，且具有很好的高温稳定性和机械稳定性。
主权项：1.一种金属Mo的等离激元圆偏振光限幅器，其特征在于，所述限幅器包括三个功能层组成，包括最底层、中间层和最顶层，所述最底层为反射层，所述中间层为电介质层，所述最顶层为手性微纳结构层；所述限幅器用于对输入的高强度光进行限制；所述最顶层上的手性微纳结构层是具有手性形状的难熔金属钼等离激元阵列结构；所述限幅器的衬底材料为硅或玻璃；所述最底层材料为金属钼；所述中间层材料为二氧化硅或氧化铝；所述最顶层材料为钼；所述的最顶层厚度为至少有55nm。
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百度查询： 电子科技大学 一种金属Mo的等离激元圆偏振光限幅器、制作方法、系统
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