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摘要：本实用新型涉及一种用于半导体生产的特殊气体处理设备，包括气体供应单元、燃烧单元、排气单元、喷雾单元、供液单元和蓄液单元。其优点在于，通过将气体供应单元和燃烧单元连通，使得废气、压缩空气和天然气在燃烧单元内混合得到混合气体，从而可保证废气充分燃烧；此外，还通过设置喷雾单元，使得喷雾单元可对燃烧单元处理后的气体进行水汽溶解及降温，从而可将经过燃烧单元处理后的气体中的有害物质吸附在水流中，使得第一排气管路的出气端所排气处的气体符合排放标准。
主权项：1.一种用于半导体生产的特殊气体处理设备，其特征在于，包括：气体供应单元，所述气体供应单元用于供应废气、压缩空气和天然气，并将废气、压缩空气和天然气混合得到混合气体；燃烧单元，所述燃烧单元与所述气体供应单元连通，用于容纳混合气体并使得混合气体燃烧，以产生高温气体；排气单元，所述排气单元与所述燃烧单元连通，用于排放高温气体；喷雾单元，所述喷雾单元分别设置于所述燃烧单元的出气口、所述排气单元的出气口，用于对高温气体进行水汽溶解以及降温；供液单元，所述供液单元与所述喷雾单元、所述燃烧单元连通，用于分别向所述喷雾单元、所述燃烧单元供液；蓄液单元，所述蓄液单元分别与所述燃烧单元、所述供液单元连通，用于存储所述喷雾单元产生的液体。
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百度查询： 上海良薇机电工程有限公司 一种用于半导体生产的特殊气体处理设备
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