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摘要:本实用新型公开了一种气体放电与等离子体诊断仪,其包括放电管、总电源、探针组件、四通管、流量计和真空泵,总电源的正极和负极分别连接于放电管相对立的两端;探针组件设于放电管上,且探针组件的针尖位于放电管正中央;四通管连通于放电管;流量计连接于四通管;真空泵连接于四通管,以抽取放电管内的气体;本申请中,通过真空泵将放电管内的气体抽出,保持放电管内的真空状态,再由流量计向放电管内通入诊断气体,维持放电管内的气压稳定,总电源通电后,即可将放电管内的气体电离,产生等离子体,并在调整过程中保持稳定产生等离子体,便于实验检测,并通过探针组件,可对等离子体进行诊断,获取等离子体的特性。
主权项:1.一种气体放电与等离子体诊断仪,其特征在于,其包括:放电管;总电源,所述总电源的正极和负极分别连接于所述放电管相对立的两端;探针组件,设于所述放电管上,且所述探针组件的针尖位于所述放电管正中央;四通管,连通于所述放电管;流量计,连接于所述四通管;真空泵,连接于所述四通管,以抽取所述放电管内的气体。
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百度查询: 沈阳斯玛特真空科技有限公司 一种气体放电与等离子体诊断仪
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