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摘要：本申请实施例提供了一种真空泵减振器及真空设备，涉及真空设备技术领域，用于改善真空泵减振器同时兼顾承担真空力的能力和减振性能较为困难的问题。该真空泵减振器包括波纹管、第一法兰、第二法兰和外周弹簧；其中，波纹管沿第一方向延伸，第一法兰和第二法兰分别安装于波纹管在第一方向上的两端。外周弹簧包括与第一法兰接触的第一弹簧端，以及与第二法兰接触的第二弹簧端；在未受外力的自然状态下，外周弹簧中第一弹簧端和第二弹簧端的距离大于波纹管在第一方向上的长度。外周弹簧设置在第一法兰和第二法兰之间，处于被第一法兰和第二法兰预压缩的状态。该真空减振器可以用于真空设备。
主权项：1.一种真空泵减振器，其特征在于，包括：沿第一方向延伸的波纹管；第一法兰和第二法兰，所述第一法兰和所述第二法兰分别安装于所述波纹管在所述第一方向上的两端；以及外周弹簧，所述外周弹簧包括与所述第一法兰接触的第一弹簧端，以及与所述第二法兰接触的第二弹簧端；在未受外力的自然状态下，所述外周弹簧中第一弹簧端和第二弹簧端的距离大于所述波纹管在所述第一方向上的长度；所述外周弹簧设置在所述第一法兰和所述第二法兰之间，处于被所述第一法兰和所述第二法兰预压缩的状态。
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百度查询： 华为技术有限公司 一种真空泵减振器及真空设备
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