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摘要：本发明属于半导体加工技术领域，尤其是一种多晶硅片加工装置及方法，针对现有设备排尘效果差等问题，现提出以下方案，包括操作台外壳，所述操作台外壳的顶部设置有与之转动连接的隔尘挡板，所述隔尘挡板上设置有点胶操作口，所述隔尘挡板的顶部设置有表面清理机构，所述隔尘挡板的底部设置有吸尘箱和吸尘盒，所述吸尘箱和所述吸尘盒通过管道连接有抽气泵，所述吸尘箱内设置有固尘机构，所述吸尘盒设置于所述点胶操作口外围。本发明通过设置的隔尘挡板与操作台外壳之间能够形成半开放式结构，有效隔绝灰尘，在半开式结构内设置吸尘组件能够提高吸尘除尘效果，只需要设置小功率的抽气泵或风机即可达到较好的吸尘作用，经济效益高，适合广泛推广。
主权项：1.一种多晶硅片加工装置，包括操作台外壳1，其特征在于，所述操作台外壳1的顶部设置有与之转动连接的隔尘挡板8，所述隔尘挡板8上设置有点胶操作口12，所述隔尘挡板8的顶部设置有表面清理机构，所述隔尘挡板8的底部设置有吸尘箱19和吸尘盒22，所述吸尘箱19和所述吸尘盒22通过管道连接有抽气泵，所述吸尘箱19内设置有固尘机构，所述吸尘盒22设置于所述点胶操作口12外围，所述吸尘箱19的下车设置有物料支撑台35，所述物料支撑台35的下侧设置有横向电动导轨37和纵向电动导轨38。
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百度查询： 江西久顺科技有限公司 一种多晶硅片加工装置及其加工方法
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