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摘要：本发明公开的一种压电薄膜极化设备及极化工艺，包括等离子体激励电源与等离子体源；等离子体激励电源与等离子体源电性连接，所述等离子体激励电源通电使所述等离子体源产生均匀的高压电场；等离子体源下方设置有多个待极化产品模组，多个所述待极化产品模组并列设置在高压电场中；本申请可同时极化处理多个异型不规则压电元器件，同时异型不规则的电极金属体可启动旋转机构或平移机构，通过旋转机构将待极化产品组件在高压电场中以一定的速度旋转，或者以一定的速度平移，将涂覆或贴附于异型不规则下电极金属体的PVDF及其聚合物薄膜进行进一步均匀极化处理。
主权项：1.一种压电薄膜极化设备，包括：等离子体激励电源与等离子体源；其特征在于，所述等离子体激励电源与等离子体源电性连接，所述等离子体激励电源通电使所述等离子体源电离腔室内气体产生离子，间接形成均匀的高压电场；所述等离子体源下方设置有多个待极化产品模组，多个所述待极化产品模组并列设置在高压电场中。
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权利要求：
百度查询： 科锐昇微系统(苏州)有限公司 一种压电薄膜极化设备及极化工艺
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