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摘要：本发明涉及光伏设备领域，公开了一种结构紧凑的PECVD设备，其包括依次通过门阀连接的进片预热腔、一站式工艺腔和冷却出片腔。一站式工艺腔包括若干个相通且能独立工作的沉积腔。进片预热腔包括进出片堆栈腔和加热片，冷却出片腔包括进出片堆栈腔和冷却片。进出片堆栈腔包括腔体、载板传动机构、堆栈升降机构和真空发生器。堆栈升降机构上设置有若干个放置载板的支撑间隔，支撑间隔的底部设置有加热片或冷却片。本发明采用一站式沉积结构代替多站式沉积技术，取消沉积腔之间的门板阀，减少泵组数量，节约成本，减少工艺腔的辅助工序时间，降低设备节拍。同时实现整合腔体，减少腔体数量，缩短产线长度，减少占地成本。
主权项：1.一种结构紧凑的PECVD设备，其特征在于：包括依次通过门阀连接的进片预热腔1、一站式工艺腔2和冷却出片腔3；所述一站式工艺腔2包括若干个相通且能独立工作的沉积腔21；所述进片预热腔1包括进出片堆栈腔4和加热片5，所述冷却出片腔3包括进出片堆栈腔4和冷却片6；所述进出片堆栈腔4包括腔体42、载板传动机构43、堆栈升降机构44和真空发生器45；载板传动机构43设置于腔体42的两侧；所述堆栈升降机构44可上下移动地设置于进片预热腔1内，堆栈升降机构44上设置有若干个放置载板的支撑间隔441，支撑间隔441的底部设置有加热片5或冷却片6，支撑间隔441、加热片5和冷却片6上设置有避让载板传动机构43的避让区442；当堆栈升降机构44降到最低处时，载板传动机构43位于最上层支撑间隔441的上方，当堆栈升降机构44升到最高处时，载板传动机构43位于最下层支撑间隔441的下方；所述真空发生器45设置于腔体42外部。
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百度查询： 福建金石能源有限公司 一种结构紧凑的PECVD设备
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