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摘要:本发明公开了一种红外探测器及其制作方法。所述红外探测器的吸收层为N型InAsInAsSb超晶格或者N型InGaAsInAsSb超晶格,并且所述红外探测器的势垒层为N型InGaAsSb材料。在本发明的红外探测器中,InGaAsSb势垒层价带与InGaAsInAsSb超晶格吸收区价带平齐,形成电子势垒,有助于降低器件暗电流,同时器件结构中只有In、Ga、As、Sb四种元素,结构简单,降低了材料生长和加工的难度。
主权项:1.一种红外探测器,其特征在于,所述红外探测器的吸收层(12)为N型InAsInAsSb超晶格或者N型InGaAsInAsSb超晶格,并且所述红外探测器的势垒层(13)为N型InGaAsSb材料。
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百度查询: 苏州晶歌半导体有限公司 红外探测器及其制作方法
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