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摘要：公开了用于激光束均匀化的光学系统及包括其的激光热处理装置，光学系统包括：聚光透镜，将输入的激光束集束；准直透镜，将通过所述聚光透镜发散的激光束准直；以及扩散片，位于所述聚光透镜与所述准直透镜之间，并且所述光学系统基于下式1构成，[式1]：Δα＝[vmint+s‑tsΦ2]‑1，在式1中，Δα是所述扩散片的最大发散角，Φ2是所述准直透镜的光功率，t是所述扩散片与所述准直透镜之间的距离，s是所述准直透镜与目标面之间的距离，vmin是通过所述光学系统切断的高频噪音的空间频率的下限。
主权项：1.一种用于激光束均匀化的光学系统，其特征在于，包括：聚光透镜，将输入的激光束集束；准直透镜，将通过所述聚光透镜发散的激光束准直；以及扩散片，位于所述聚光透镜与所述准直透镜之间，并且所述光学系统基于下式1构成，[式1]Δα＝[vmint+s-tsΦ2]-1，在式1中，Δα是所述扩散片的最大发散角，Φ2是所述准直透镜的光功率，t是所述扩散片与所述准直透镜之间的距离，s是所述准直透镜与目标面之间的距离，vmin是通过所述光学系统切断的高频噪音的空间频率的下限，所述扩散片的位置与所述聚光透镜的焦点面隔开。
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百度查询： 三星显示有限公司 用于激光束均匀化的光学系统及包括其的激光热处理装置
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