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摘要：本发明涉及一种芯片提取装置及芯片提取方法。所述芯片提取装置中，真空吸附头包括腔体以及设置于所述腔体内的摄像头，所述腔体的腔壁上设置有真空抽气口，所述腔体具有用于吸附目标芯片的开口，所述摄像头的设置方向朝向所述腔体的开口。利用所述芯片提取装置，可以在腔体吸附目标芯片之前，利用摄像头确认目标芯片位置并对准，并且在对准后，腔体不需要再大范围地移动，有助于提高芯片提取的准确性和提取位置精度。所述芯片提取方法采用上述芯片提取装置来提取目标芯片，其中使所述腔体仅接触目标芯片的外围区，可以避免提取操作对芯片图形区造成污染或损伤，有助于减少后续工艺缺陷，提高芯片产品的良率。
主权项：1.一种芯片提取装置，其特征在于，包括真空吸附头，所述真空吸附头包括腔体以及设置于所述腔体内的摄像头，所述腔体的腔壁上设置有真空抽气口，所述腔体具有用于吸附目标芯片的开口，所述摄像头的设置方向朝向所述腔体的开口；所述目标芯片的上表面包括图形区和围绕所述图形区的外围区，所述腔体的开口尺寸大于所述外围区在同一方向上的内径尺寸，并小于所述外围区在同一方向上的外径尺寸。
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百度查询： 武汉新芯集成电路股份有限公司 芯片提取装置及芯片提取方法
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