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摘要：用于带电粒子检测的装置1400和方法可以包括：偏转器系统1408、1410、1412，该偏转器系统被配置为引导带电粒子脉冲1414、1416、1418；检测器，该检测器具有检测元件，该检测元件被配置为检测带电粒子脉冲；以及控制器，该控制器具有电路系统，该电路系统被配置为：控制偏转器系统以将第一带电粒子脉冲和第二带电粒子脉冲引导到检测元件；分别获得与第一带电粒子脉冲何时被偏转器系统引导相关联的第一时间戳和与第一带电粒子脉冲何时被检测元件检测到相关联的第二时间戳、以及与第二带电粒子脉冲何时被偏转器系统引导相关联的第三时间戳和与第二带电粒子脉冲何时被检测元件检测到相关联的第四时间戳；以及分别基于第一时间戳和第二时间戳以及第三时间戳和第四时间戳来标识第一出射射束和第二出射射束。
主权项：1.一种用于观察样品的装置，包括：偏转器，被配置为从包括多个带电粒子脉冲的初级带电粒子束形成多个偏转带电粒子束，并且将所述多个带电粒子脉冲偏转到样品上的多个探测点；检测器，被配置为检测来自所述样品的多个信号，所述多个信号由所述多个带电粒子脉冲与所述样品相互作用而产生；以及控制器，被配置为基于以下来将特定检测信号与所述样品上的特定探测点相关：从所述特定探测点生成的所述特定检测信号被检测到的时间与形成所述特定探测点的特定带电粒子脉冲被偏转的时间相关联的时间之间的相关性。
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百度查询： ASML荷兰有限公司 脉冲带电粒子束系统
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