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摘要：本发明提供一种基于微波等离子体的温室气体处理装置及方法，包括电磁波输入和传输系统、微波耦合腔、进气系统和尾气处理系统；电磁波输入和传输系统包括两组微波磁控管和传输波导，传输波导与微波耦合腔连通；进气系统包括Ar输入管道，O2输入管道，SF6输入管道和三层式进气套管；三层式进气套管的侧方设有自动点火装置；尾气处理系统包括密闭腔、废气输送管道和喷淋装置；微波耦合腔通过功率耦合的方式不仅能提高SF6的电离效果，提高微波功率的利用率，还能提高处理大流量SF6的能力；进气装置采用三层套管，在提高处理SF6流量的同时，可以有效减少电离出的氟离子对进气管的刻蚀，提高持续工作时间。
主权项：1.一种基于微波等离子体的温室气体处理装置，其特征在于，包括电磁波输入和传输系统、微波耦合腔、进气系统和尾气处理系统；所述电磁波输入和传输系统包括两组微波磁控管和传输波导，所述传输波导与所述微波耦合腔连通，分别将所述两组微波磁控管产生的电磁场传输入微波耦合腔内；所述进气系统包括Ar输入管道，O2输入管道，SF6输入管道和三层式进气套管，所述O2输入管道由三通阀分为两组，第一组O2输入管道与所述三层式进气套管的外层连通，第二组O2输入管道与所述Ar输入管道组合后与所述三层式进气套管的中间层连通，所述SF6输入管道与三层式进气套管的内层连通；所述三层式进气套管贯穿所述微波耦合腔；所述三层式进气套管的侧方设有自动点火装置用于初始激励；所述尾气处理系统包括密闭腔、废气输送管道和喷淋装置，所述密闭腔与所述三层式进气套管相连，所述喷淋装置使用碱性溶液吸收酸性气体产物，所述废气输送管道连接所述密闭腔并设有用于尾气抽排的抽风机。
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百度查询： 武汉工程大学 一种基于微波等离子体的温室气体处理装置
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