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摘要：本发明提供一种优化的Mapping部件，所述部件包括：蓝宝石窗口、窗口固定件及反射镜，所述窗口固定件呈环形，包括内侧部及外侧部，且其内侧部设有开口，所述蓝宝石窗口通过所述开口嵌入到所述窗口固定件中；所述反射镜设于所述窗口固定件的一侧，并与所述窗口固定件平行设置。通过本发明解决了现有的光阻剥离机台因不可控因素而导致的Mapping问题。
主权项：1.一种优化的Mapping部件，其特征在于，所述部件包括：蓝宝石窗口、窗口固定件及反射镜，所述窗口固定件呈环形，包括内侧部及外侧部，且其内侧部设有开口，所述蓝宝石窗口通过所述开口嵌入到所述窗口固定件中；所述反射镜设于所述窗口固定件的一侧，并与所述窗口固定件平行设置。
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百度查询： 上海华力集成电路制造有限公司 优化的Mapping部件
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