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去除边缘芯片的晶圆片Mapping的生成方法 

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摘要:本申请涉及一种去除边缘芯片的晶圆片Mapping的生成方法,包括如下步骤:获取图片:获取需要去除边缘的晶圆片的图片,并确定晶圆片需要去除的边缘芯片圈数;加载程序:将晶圆片的图片复制到CAD界面中,并在CAD中加载Mappingoutref程序;调出程序,并在程序中输入晶圆片的相关参数;描绘晶圆片特征:在晶圆片的图片上描出晶圆上缺口直线、晶圆下缺口直线,点出晶圆片内圆和晶圆片外圆,并点选晶圆片中的参考特征点;分别选择整个晶圆片以及生成Mapping的晶圆片内圆周线;自动生成去除边缘芯片的晶圆片Mapping文件。本生成方法能够快速生成去除边缘不良芯片的晶圆片Mapping文件,在软件中输入边缘几圈不良芯片即可以去除几圈,使用方便、操作简单、实用性强。

主权项:1.一种去除边缘芯片的晶圆片Mapping的生成方法,其特征在于:包括如下步骤:获取图片:获取需要去除边缘芯片的晶圆片的图片,并确定晶圆片需要去除的边缘圈数;加载程序:将晶圆片的图片复制到CAD界面中,并在CAD中加载Mappingoutref程序;输入参数:调出Mappingoutref程序,并在程序中输入晶圆片的相关参数;描绘晶圆片特征:在晶圆片的图片上描出晶圆上缺口直线、晶圆下缺口直线,点出晶圆片内圆和晶圆片外圆,并点选晶圆片中的参考特征点;选择对象:分别选择整个晶圆片以及生成Mapping的晶圆片内圆周线;生成Mapping文件:自动生成去除边缘的晶圆片Mapping文件。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 苏州固锝电子股份有限公司 去除边缘芯片的晶圆片Mapping的生成方法

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