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摘要：本发明公开了喷淋板以及薄膜沉积设备。所述喷淋板包括开孔区域。开孔区域包括工艺孔区域和外围开孔区域，所述工艺孔区域为圆形，所述外围开孔区域为圆环形，所述外围开孔区域围绕所述工艺孔区域的最外圈设置；所述外围开孔区域的最外圈所对应的直径与晶圆直径的比值为1.05‑1.10；所述外围开孔区域内的单个开孔的单孔流量小于所述工艺孔区域内的单个开孔的单孔流量。
主权项：1.一种喷淋板，其特征在于，所述喷淋板包括：开孔区域，包括工艺孔区域和外围开孔区域；所述工艺孔区域为圆形，所述外围开孔区域为圆环形，所述外围开孔区域围绕所述工艺孔区域的最外圈设置；所述外围开孔区域的最外圈所对应的直径与晶圆直径的比值为1.05-1.10；所述外围开孔区域内的单个开孔的单孔流量小于所述工艺孔区域内的单个开孔的单孔流量。
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百度查询： 拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司 喷淋板及薄膜沉积设备
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