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摘要：本发明系关于用于曝光一光敏层之一方法，该光敏层具有一光学系统，在各情况中，至少一光线由至少一光源产生且一曝光图案之像素由至少一微镜装置照明，该至少一微镜装置具有在各情况中具有一镜强度分布的多个微镜，其特征在于为得到曝光图案之一图案强度分布而重迭相邻微镜之镜强度分布发生为曝光图案之各经照明像素之镜强度分布之一总和。此外，本发明系关于使用一光学系统来曝光一光敏层之一装置，该光学系统具有：至少一光源，其用于产生至少一光线，至少一微镜装置，其具有多个微镜，其中光学系统依一方式建构，使得为形成曝光图案之一图案强度分布而重迭相邻微镜之镜强度分布发生为曝光图案之各经照明像素之镜强度分布之一总和。
主权项：1.一种用于使用光学系统和基板固持器来曝光基板的光敏层的方法，该基板固定于该基板固持器上，该光学系统包括一个或多个光源和一个或多个微镜装置，所述一个或多个微镜装置分别具有一个或多个微镜，所述方法包括：使所述一个或多个微镜装置和所述基板分别沿第一方向同时移动的第一步骤，所述一个或多个微镜装置移动的第一方向与所述基板移动的方向相同；在所述第一步骤之后和或在所述第一步骤期间，分别从所述一个或多个光源发射一个或多个光线；和在发射所述一个或多个光线之后使所述一个或多个微镜装置沿第二方向并且使所述基板沿所述第一方向同时移动的第二步骤，所述第二方向与所述第一方向相反或者垂直。
全文数据：
权利要求：
百度查询： EV集团E·索尔纳有限责任公司 将一光敏层曝光之装置及方法
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