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摘要：披露了一种暗场量测装置，所述暗场量测装置包括物镜布置和用于阻挡所述零阶辐射的零阶阻挡件。所述物镜布置将照射引导到待测量的试样上并且从所述试样收集散射辐射，所述散射辐射包括零阶辐射和较高阶衍射辐射。所述暗场量测装置能够操作以：执行照射扫描，以使所述照射在所述最大照射角范围的至少两个不同子集的范围内进行扫描；并且同时执行检测扫描，所述检测扫描使所述零阶阻挡件和所述散射辐射之一或两者在所述照射扫描的至少一部分期间在所述最大检测角范围的相对应的子集的范围内相对于彼此进行扫描。
主权项：1.一种暗场量测装置，包括：物镜布置，所述物镜布置能够操作以将照射引导到待测量的试样上并且从所述试样收集散射辐射，所述散射辐射包括零阶辐射和较高阶衍射辐射，其中所述物镜布置限定用于在照射路径中接收所述照射的最大照射角范围和用于在检测路径中接收所述散射辐射的最大检测角范围；和零阶阻挡件，所述零阶阻挡件能够操作以阻挡所述零阶辐射；其中所述暗场量测装置能够操作以：执行照射扫描，以使所述照射在所述最大照射角范围的至少两个不同子集的范围内进行扫描；并且同时地执行检测扫描，所述检测扫描使所述零阶阻挡件和所述散射辐射之一或两者在所述照射扫描的至少一部分期间在所述最大检测角范围的相对应的子集的范围内相对于彼此进行扫描，其中在所述最大照射角范围的多个不同子集处执行所述照射扫描，所述子集的数目取决于所述照射的相干性。
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