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摘要：本实用新型公开了一种显微镜载物台，包括载物台本体、以及设在载物台本体下方的滑动组件，载物台本体包括第一底座、底盘和中心柱，底盘设于第一底座内且与第一底座间隙连接，底盘上均匀开设有多个圆弧槽，中心柱设于底盘圆心处且与第一底座螺纹连接，滑动组件包括横向滑动机构和纵向滑动机构，所述横向滑动机构设于所述纵向滑动机构上方，横向滑动机构包括第二底座和横向滑轨，纵向滑动机构包括第三底座和纵向滑轨；本实用新型，使用吸笔吸附晶圆，晶圆放置在载物台本体内不易滑动，降低碎片率，提高晶圆良率，同时通过滑动组件优化检片方式，解决晶圆检验时不可相对显微镜视野移动的问题。
主权项：1.一种显微镜载物台，其特征在于：包括载物台本体、以及设在所述载物台本体下方的滑动组件，所述载物台本体包括第一底座、底盘和中心柱，所述底盘设于所述第一底座内且与所述第一底座间隙连接，所述底盘上均匀开设有多个圆弧槽，所述中心柱设于所述底盘圆心处且与所述第一底座螺纹连接，所述中心柱顶部固定高度低于所述圆弧槽底部，所述圆弧槽用于放置第一晶圆，所述中心柱用于放置第二晶圆，所述滑动组件包括横向滑动机构和纵向滑动机构，所述横向滑动机构设于所述纵向滑动机构上方，所述横向滑动机构包括第二底座和横向滑轨，所述纵向滑动机构包括第三底座和纵向滑轨，所述第一底座与所述第二底座通过所述横向滑轨滑动连接，所述第二底座与所述第三底座通过纵向滑轨滑动连接。
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百度查询： 江西兆驰半导体有限公司 一种显微镜载物台
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