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摘要:本实用新型公开了一种蒸镀装置,涉及真空蒸镀设备领域,包括蒸镀装置壳体,蒸镀装置壳体的内侧底部安置有两个用于盛放蒸镀材料的坩埚,两个坩埚之间设置有凹弧顶托块,凹弧顶托块与蒸镀装置壳体为固定连接,蒸镀装置壳体的上部呈圆弧顶状,蒸镀装置壳体的内部设置有分隔组件,本实用新型通过分隔组件将蒸镀装置壳体的内部分隔为两个独立的蒸镀腔室,再配合悬挂单元和驱动单元的作用,在两个独立蒸镀腔室中的基板进行一面蒸镀后,可以直接将悬挂单元内的基板在两个独立蒸镀腔室之间进行位置更换,即能对基板的另一面进行蒸镀,由于两个独立蒸镀腔室中坩埚内的镀料不同,就能够实现在同一次蒸镀工序中,对基板的双镜面进行不同异材的蒸镀处理。
主权项:1.一种蒸镀装置,其特征在于,包括:蒸镀装置壳体1,所述蒸镀装置壳体1的内侧底部安置有两个用于盛放蒸镀材料的坩埚5,两个所述坩埚5之间设置有凹弧顶托块4,且所述凹弧顶托块4与所述蒸镀装置壳体1为固定连接,所述蒸镀装置壳体1的上部呈圆弧顶状,且所述蒸镀装置壳体1的内部设置有分隔组件,所述分隔组件用于将两个所述坩埚5的蒸发材料分隔。
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