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摘要：本发明涉及一种波导放大器，包括：‑至少一个嵌入包覆材料或层，以及‑嵌入在至少一个嵌入包覆材料或层中的至少一个稀土离子注入的氮化硅材料或层，该至少一个稀土离子注入的氮化硅材料或层限定由至少一个嵌入包覆材料或层封围的波导芯。
主权项：1.一种光子集成电路波导放大器1，包括：-至少一个嵌入包覆材料或层3，以及-嵌入在所述至少一个嵌入包覆材料或层3中的至少一个稀土离子注入的氮化硅材料或层5，所述至少一个稀土离子注入的氮化硅材料或层5限定由所述至少一个嵌入包覆材料或层3封围的波导芯WC。
权利要求：
百度查询： 洛桑联邦理工学院 波导放大器及波导放大器制造方法
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