买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网恭喜中国科学技术大学申请的专利一种利用光电测量原位表征局域应变的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119665847B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510200005.7，技术领域涉及：G01B11/16；该发明授权一种利用光电测量原位表征局域应变的方法是由林深茂;曾华凌设计研发完成，并于2025-02-24向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种利用光电测量原位表征局域应变的方法在说明书摘要公布了：本发明涉及二维半导体检测领域，用于解决对于局域应变的原位精确表征手段却较为匮乏，无法原位精细化定量测量局域应变的问题，具体为一种利用光电测量原位表征局域应变的方法；本发明中采用光电流成像技术，相较于传统的压电力显微镜和电学测量技术，既能够丰富可测量的体系，使得测量材料不再局限于传统的铁电体系，又能够表征局域化的应变工程效果，使得应变工程的测试能够更加精细，对理解局域应变调控机制，测试应变工程效果更为有效，同时，本发明中的光电流测试一般对器件施加零偏压，使用的激发光功率也较低，因此不易对样品造成损伤，相较于压电力显微镜或电学测量更为无损。

本发明授权一种利用光电测量原位表征局域应变的方法在权利要求书中公布了：1.一种利用光电测量原位表征局域应变的方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤一：对待检测样品进行处理，组合成待测量器件；步骤二：搭建共聚焦光电成像装置，将待检测的器件放置在变温真空腔4的样品放置位置5中，通过变温真空腔4对样品测试环境进行抽真空或温度调节；步骤三：通过光源2和激光发射端3发出光线和激光束，并经由分束镜进行反射和折射后照射在待测量器件上的一个区域；步骤四：通过激光发射端3的反射光得到反射光图像，通过激光束激发待检测样品，通过源表6采集光电信号，将反射光图像和光电信号进行结合，得到局域应变分布；步骤五：判断是否需要时间应变工程，若需要，则进入步骤六，若不需要，则记录应变分布和程度，并结束测试；步骤六：通过探针对待测量器件施加应变工程，并再次进行光电信号和反射光图像的采集，得到局域应变分布；步骤七：将步骤四中的局域应变分布和步骤六中的局域应变分布进行对比，得到应变工程施加效果；所述步骤二中的共聚焦光电成像装置包括CMOS相机1，所述CMOS相机1的镜头下方设置有多组分束镜9，其中上方两组分束镜一侧分别设置有光源2和激光发射端3，最下方的一组所述分束镜9一侧设置有单光子计数器7，所述样品放置位置5连接有源表6，通过源表6对待测器件发出的光电信号进行采集，所述源表6、单光子计数器7和CMOS相机均连接至控制中心8；所述控制中心8内设置有光电测量系统，所述光电测量系统能够控制光源2发出光线，控制激光发射端3发出激光束；所述光电测量系统通过CMOS相机1获取大致光斑位置，通过单光子计数器7得到反射光信号，通过源表6采集待检测器件被激发的光电信号；所述光电测量系统将反射光信号和光电信号进行融合，得到局域应变分布，并对局域应变分布进行判断；所述光电测量系统将施加应力工程前和施加应力工程后的局域应变分布进行对比，根据对比结果进行判断，确认应变工程效果是否达标。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人中国科学技术大学，其通讯地址为：230000 安徽省合肥市包河区金寨路96号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。