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申请/专利权人：住友重机械工业株式会社
申请日：2014-11-11
公开（公告）日：2016-08-17
公开（公告）号：CN104667565B
专利技术分类：
专利摘要：本发明提供一种冷阱，其课题在于抑制排气流路的传导率的下降，并且提高冷阱的排气速度。本发明的冷阱10配设于真空容器12与涡轮分子泵14之间。冷阱10具备冷板24及在排气流路18中包围冷板24的冷板容器26。冷板24在冷板容器26的外部具备扩张板34。扩张板34配置于真空容器12内。
专利权项：一种冷阱，配设于真空容器与用于该真空容器的真空泵之间，所述冷阱的特征在于，具备：冷板；及冷板容器，在排气流路中包围所述冷板，所述排气流路从所述真空容器的排气口延伸至所述真空泵的吸气口，所述冷板在所述冷板容器的外部具备扩张部分，所述扩张部分配置于所述真空容器内。
百度查询： 住友重机械工业株式会社 冷阱
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