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申请/专利权人：住友重机械工业株式会社
申请日：2014-11-11
公开（公告）日：2016-08-17
公开（公告）号：CN104667564B
专利技术分类：
专利摘要：本发明提供一种冷阱，其课题在于使具有较大的排气能力的直线型冷阱适用于较窄的设置空间。本发明的冷阱10配设于真空容器12与用于该真空容器12的真空泵之间，冷板24配置于从真空容器12的排气口30至真空泵的吸气口31的排气流路18。冷板容器26具备用于将排气流路18连接于真空容器12的排气口的入口部、及用于将排气流路18连接于真空泵的吸气口31的出口部。出口部相对于入口部偏心设置。
专利权项：一种冷阱，配设于真空容器与用于该真空容器的真空泵之间，所述冷阱的特征在于，具备：冷板，配置于从所述真空容器的排气口至所述真空泵的吸气口的排气流路；及冷板容器，具备用于将所述排气流路连接于所述真空容器的排气口的入口部、及用于将所述排气流路连接于所述真空泵的吸气口的出口部，所述出口部相对于所述入口部偏心设置。
百度查询： 住友重机械工业株式会社 冷阱
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